Dielectric films for advanced microelectronics

dc.contributor.author	Baklanov, Mikhail ed.
dc.contributor.author	Green, Martin ed.
dc.contributor.author	Maex, Karen ed.
dc.date.accessioned	2019-01-15T19:47:13Z
dc.date.available	2019-01-15T19:47:13Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.isbn	0-470-01360-5
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/9883
dc.language.iso	en	es
dc.publisher	John Wiley & Sons Ltd	es
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dc.subject	Láminas Dieléctricas	es
dc.subject	Microelectrónica - Materiales	es
dc.subject	Materiales Dieléctricos Giratorios	es
dc.title	Dielectric films for advanced microelectronics	es
dc.type	Book	es